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ALPHA测量机具有龙门结构,对于行程Y=3300 mm时有四根立柱,而Y=5000 mm时有六根立柱。龙门式结构便于工件安装,检测和观察。龙门式结构实现运动部件最小惯性,同时保持结构的最大刚性。 产品特点: - 双读数头/双光栅 - 高分辨率读数头(0.1微米) - 高刚性大截面陶瓷Z轴 - Y向横梁采用获得专利的“斜桥技术”,具有很高的刚性 - 高分辨力AURODUR镀金金属光栅,在长度方向上自由膨胀,并经过正式认证 - 各轴采用直流伺服电机驱动 - 先进的21项参数几何误差补偿 - 可滤油和滤水的空气过滤器
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